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在半導體晶圓製造產業中,由於工序相當複雜,生產排程及生產管制在整個企業中是非常重要的一部分,現行晶圓隨著晶片的需求也將經原尺寸越做越大,從5吋、6吋、8吋,乃至於到現在的12吋等等。隨著晶圓面積…